氦质谱检漏仪故障与处理

定位方法

采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测，因检漏仪内部结构紧凑，各密封结构间的距离很近，检测时定位难度较大。经摸索，在检测时采用以下技巧，可提高定位的能力：①查漏前，先将分子泵风扇的电源断开，避免风扇将氦源吹散至各个密封环节，造成定位不准确。例如，夏天，室温达到30℃，这种标准漏孔的漏率误差增加30%。②喷吹时，要严格控制氦源的流量，尽量采用喷枪咀流量小的喷枪，提高定位的能力。③仪器的反应时间小于1 s，所以在一个部位喷吹的时间约3 s，再等待约3 s 后观测信号有无变化。

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真空法氦质谱检漏

采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。在产品周围喷氦气，以E-8mbarl/s为合格线如果您想了解更多您可拨打图片上的电话进行咨询，科创真空竭诚为您服务。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。其中真空喷吹法采用喷枪的方式向被检产品外表面喷吹氦气，可以实现漏孔的准确定位; 真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的氦气，可以实现被检产品总漏率的测量。

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氦质谱检漏仪的主要配置

北京科创鼎新真空技术有限公司（简称：科创真空）是从事真空系统设计、制造及真空技术服务的专业化公司。公司致力于真空氦检漏设备、非标真空系统设计开发与制造。

1. 检漏仪专用分子泵

2. 机械泵或者干泵

3. 定制检漏仪专用电磁阀

4. 内置标准漏口

5. 放大器

6. 采用质谱专用模块

以上是科创真空为您一起分享的内容，科仪创新专业生产氦检漏，欢迎新老客户莅临。

氦质谱检漏仪

吸枪法

吸枪法是先向压力容器装置中充入一个以上的大气压的氦气或氦气与其他气体的混合气，从压力容器装置的外部检测从漏孔泄漏到外部的氦气，进而发现漏孔。

吸枪法（正压法）检漏，用纯氦检时，可使用氦气回收装置，重复使用，以降低使用成本。或使用浓度不低于5~10%的氦气混合气体，使用完后，可直接向大气中排放，要注意周围环境中的氦气的浓度，注意周围环境中空气的流动情况，因为这会影响到吸枪法的检测精度。大型压力容器在检漏时，经常使用辅助真空系统（辅助真空系统----有真空机械泵+增压泵，真空管道，三通，真空计，真空阀门，放气阀门等组成）来进行预抽真空，真空度达到一定值时，关闭辅助真空系统，或使用真空切换阀，再开启检漏仪来进行检漏。吸枪法（正压法）检漏与卤素检漏极为相似，但应注意的是容器内所充的示踪气体是不同的，即使有相同的漏率值，其意义也是不同的，能够区分这一点很重要。除实验测试比较法以外另有计算式Q1η1= Q2η2（Q为气体的泄漏流量，η为气体的粘度系数），Q1M11/2= Q2M21/2（M为气体的分子量）。吸枪法检漏中应注意以下几个问题：

1、灵敏度受连接管道的流导的限制。

2、初次检漏时、被检件体内切勿充入过高压力的氦气。因为如果有漏孔，氦气会从被检件物中漏出，造成较大浪费，而且氦气到处扩散，给检漏仪带来非常大的干扰。检漏的方式是：链接被检化工管道和真空泵组以及氦质谱检漏仪，用真空泵组把管道抽真空，达到一定真空度。因此，一般应先向被检件物内充以低压力、低浓度的氦气，再充入高压力，高浓度的氦气，对小漏孔进行检漏。如果存在较大漏孔时，可对检件体先进行加压水中发泡法检大漏，这样既可以减少氦气的浪费，因为氦气较贵（不同浓度的价格也不同），又可避免对氦检漏仪的氦的损害。